لماذا نستخدم التعريض للأشعة تحت الحمراء في معالجة الرقائق؟
في مصانع أشباه الموصلات، “النظافة” ليست مجرد هدف، بل هي كل شيء. إذا تُرك أي كمية صغيرة من الرواسب أثناء عملية التجفيف أو التعريض للأشعة تحت الحمراء، فهذا يشكل مشكلة كبيرة. لذلك نستخدم أجهزة استشعار ومصادر أشعة تحت حمراء دقيقة للغاية. هذا يسمح لنا بالتخلي تمامًا عن استخدام المذيبات الكيميائية وأجهزة التسخين التقليدية.
لا داعي لتسخين الهواء.
يعتقد معظم الناس أن الحل يكمن في استخدام الأفران، حيث يتم تسخين الهواء ثم نقل الحرارة إلى الرقاقة. لكن هذه الطريقة بطيئة وغير فعالة.
أما الأشعة تحت الحمراء، فهي تستخدم الإشعاع الكهرومغناطيسي لتحريك الجزيئات داخل الرقاقة نفسها. هذه الطريقة سريعة جدًا، بالإضافة إلى أنها لا تتسبب في تلوث الهواء داخل الغرفة. إذا كنت تريد الالتزام بمعايير النظافة العالية أو تجنب وجود مواد معدنية داخل الغرفة، فهذه هي الطريقة الوحيدة الممكنة.
التركيز على النقاط المحددة، وليس على الغرفة بأكملها.
الجزء المميز في استخدام الأشعة تحت الحمراء هو إمكانية تعديل طول الموجة. بدلاً من تسخين الرقاقة بأكملها، يتم التركيز على النقاط المحددة التي تحتاج إلى التسخين. هذا يساعد في توفير الكثير من الطاقة، ولا يتم إهدار الطاقة في تسخين الهيكل المعدني الضخم فقط لتعديل رقاقة واحدة بحجم 300 مم. وبما أن الأجهزة صغيرة الحجم، فإنه يمكن استبدال الأفران الضخمة بأجهزة أصغر، مما يوفر مساحة كبيرة. كما أن نظام التهوية سيستفيد أيضًا من ذلك.
العيب (لأن هناك دائمًا عيبًا).
الأشعة تحت الحمراء عالية الشدة قوية جدًا، وهذا يساعد في تسريع عملية معالجة الرقائق، لكنه يجعل التحكم في درجة الحرارة أمرًا صعبًا. إذا كانت أجهزة الاستشعار غير دقيقة، فسيحدث ارتفاع في درجة الحرارة في بعض المناطق، وهذا قد يؤدي إلى تشوه الرقاقات. لتجنب ذلك، يجب استخدام أجهزة تحكم عالية السرعة للحفاظ على درجة الحرارة ثابتة.
نصيحة أخيرة: لا تستخدم كابلات رخيصة. يجب استخدام كابلات محمية، وإلا فإن الضوضاء الكهرومغناطيسية قد تؤثر على أجهزة الاستشعار وتؤدي إلى أخطاء في القراءات. إنها تفاصيل صغيرة، لكنها تحدد ما إذا كانت الرقائق مكتملة أم لا.