نگهداری اتاقهای پاکسازی کلاس ۱۰۰ در حالت تمیز باقی ماندن
اگر شما یک اتاق پاکسازی کلاس ۱۰۰ را اداره میکنید، میدانید که کار چقدر دشوار است. موضوع فقط رساندن دما به مقدار مشخصی نیست؛ بلکه موضوع مربوط به ذرات و گازهای نامرئی است که میتوانند در عرض چند ثانیه، کیفیت ویفرها را خراب کنند.
بیشتر لامپهای مادون قرمز استاندارد، در این شرایط مشکلساز هستند؛ زیرا وقتی داغ میشوند، تمایل به ترشح ناخالصیهای فلزی یا مواد آلی دارند. به همین دلیل، ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای سیستمهای UHP استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود که منبع حرارتی، مواد مورد استفاده را آلوده نکند.
راز، در کوارتز است.
ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا کوارتزهای ارزان، پر از بور و آلومینیوم هستند. وقتی این لامپهای ارزان داغ میشوند، گازهایی تولید میکنند؛ این امر میتواند کیفیت مواد را خراب کند.
همچنین، ما از سیستم هالوژنی نیز استفاده میکنیم؛ این سیستم به جلوگیری از تبخیر رشتههای تونگستن و چسبیدن آنها به داخل لوله کمک میکند. اگر تونگستن روی شیشه تجمع کند، نور لامپ تغییر میکند و لامپ زودتر از حد مورد انتظار خراب میشود.
مقابله با حرارت
وقتی از لامپهای UHP با توان بالا استفاده میکنیم، حرارت بسیار زیادی تولید میشود. این موضوع برای گرم کردن سریع قطعات خوب است، اما فشار زیادی بر روی ساختار لامپ وارد میشود. باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده، بتواند این فشار را تحمل کند. اگر هوا به درستی جریان نیابد و انتهای لوله بیش از حد داغ شود، کوارتز میتواند خراب شود.
برای حفظ پایداری، ما از کانکتورهای R7s یا Sk15 استفاده میکنیم؛ این کانکتورها اتصال الکتریکی محکمی فراهم میکنند، بنابراین نیازی نیست نگران ایجاد جرقه در شرایط خلأ یا فضای کنترلشده باشید.
چند نکته مهم
این لامپها معمولاً میتوانند در اکثر ابزارهای نیمههادی یا لایهبرداری اپتیکی استفاده شوند. این لامپها تابش مادون قرمز پاکیزهای تولید میکنند که به عمق مواد نفوذ میکند.
اما نکته مهم این است: کوارتز UHP از لکههای انگشتان متنفر است! اگر تکنسینها در حین نصب، بدون دستکش، به شیشه لمس کنند، روغنهای پوستی آنها در کوارتز تجمع میکند؛ این امر باعث ایجاد نقاط داغ میشود که منجر به خرابی زودهنگام لامپ میشود.
بنابراین، باید شیشه را کاملاً تمیز نگه دارید؛ در غیر این صورت، مجبور خواهید بود لامپها را هر چند صد ساعت یکبار تعویض کنید، و هیچ کس دوست ندارد وقت تعطیلات خود را صرف این کار کند.