چرا از طلا برای خشک کردن ویفرهای نیمههادی استفاده میکنیم؟
وقتی که مشغول شستن ویفرها هستید، باید تعادل دقیقی برقرار کنید؛ باید سطح ویفر را به سرعت خشک کنید، اما اگر از روشهای خشککننده بیش از حد استفاده کنید، فشار حرارتی باعث تغییر شکل ویفر خواهد شد.
در اینجاست که روش ما میتواند کمک کند. ما از لامپهای مادون قرمز ضدآب، همراه با آینههای پوشیده از طلا، استفاده میکنیم. چرا طلا؟ چون طلا مانع از اتلاف گرما در بدنه دستگاه میشود و گرما را دقیقاً به جایی که نیاز است، یعنی سطح ویفر، هدایت میکند.
راز در بازتاب نور است.
اکثر مردم از آینههای آلومینیومی استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم مقدار زیادی از انرژی مادون قرمز را جذب میکند. طلا متفاوت است؛ طلا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار کارآمد است.
با اضافه کردن لایه نازکی از طلا، میتوانیم تشعشعاتی که معمولاً به سمت عقب میروند، دوباره به سمت هدف هدایت کنیم. این کار باعث میشود گرمای بیشتری به ویفر منتقل شود، بدون اینکه نیاز به افزایش ولتاژ لامپها باشد. این یک روش فیزیکی هوشمندانه است.
مقابله با «منطقه مرطوب»
از آنجایی که این لامپها در محیطی مرطوب قرار دارند، در واقع در میان رطوبت شنا میکنند. اگر حتی یک قطره آب به الکترودهای لامپ برخورد کند، لامپ از کار خواهد افتاد.
ما زمان زیادی را صرف اطمینان از درزگیری کامل دستگاه میکنیم؛ همچنین به شکل آینههای بازتابنده نیز توجه زیادی میکنیم. ما میخواهیم پرتو گرمایی متمرکزی داشته باشیم؛ این کار باعث میشود قطعات مکانیکی اطراف سرد بمانند و انرژی فقط در سطح ویفر متمرکز شود.
تعادل لازم (چون همیشه تعادلی لازم است)
تمرکز این مقدار انرژی میتواند مشکلاتی ایجاد کند؛ چون طلا باعث میشود گرما بسیار شدید باشد، بنابراین باید مراقب بود.
اگر سرعت حرکت کانوایر خیلی کم باشد یا لامپها خیلی نزدیک به هم قرار داشته باشند، ممکن است لبههای ویفرها آسیب ببینند. همچنین باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده نیز کارایی لازم را داشته باشند؛ چون دمای پشت آینههای بازتابنده میتواند بسیار بالا باشد.
بهترین نکته این است که این دستگاهها برای جایگزینی ساده طراحی شدهاند؛ کافی است دستگاه قدیمی خود را عوض کنید، آنها را به دستگاه متصل کنید و کار تمام است. متوجه خواهید شد که آب سریعتر از بین میرود و پانل الکتریکی دستگاه نیز کمتر کار میکند.