جلوگیری از انفجار در فرآیند خشک کردن ویفرهای MEMS
باید صادقانه بگوییم که خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS پس از شستشوی شیمیایی، فرآیندی پرخطر است. عناصر گرمایشی درست در میان بخارات قابل اشتعال و منفجره قرار دارند.
لامپهای معمولی نور مادون قرمز برای این کار مناسب نیستند؛ استفاده از چنین لامپهایی در چنین محیطی، در واقع به معنای ایجاد خطر انفجار است. به همین دلیل، ما لامپهای خود را با نوع خاصی از غلافبندی ساختهایم؛ هدف این کار، نگه داشتن گرما درون لامپ و جلوگیری از ورود مواد خطرناک به داخل آن است.
چگونه از ایجاد جرقه جلوگیری میکنیم؟
مشکل اصلی در فرآیند شستشوی شیمیایی این است که به محض اینکه جرقه یا سطح داغ به حدود انفجاری محلولها برسد، مشکلات بزرگی پیش خواهد آمد.
برای جلوگیری از این امر، عناصر گرمایشی را درون غلافهای کوارتزی با خلوص بالا قرار میدهیم؛ اما کار ما همینجا تمام نمیشود. ما یک درزبندی دوم نیز در نقطه تماس الکترودها ایجاد میکنیم؛ این کار مانع از نفوذ مواد شیمیایی به داخل مدارهای الکتریکی میشود.
همچنین از درزبندیها و چسبهای ویژهای استفاده میکنیم که گازی تولید نمیکنند؛ حتی اگر محیط کاملاً پر از مواد شیمیایی باشد، جرقهها در جای خود باقی خواهند ماند.
تعادل بین گرما و پایداری
هنگام خشک کردن ویفرها، به گرمای زیادی نیاز است؛ اما این گرما باید به سرعت تأمین شود. ما لامپهای خود را طوری تنظیم کردهایم که بتوانند به سرعت گرما تولید کنند؛ اما این کار مشکلاتی را نیز به همراه دارد.
تمام این انرژی باعث ایجاد فشار زیادی میشود؛ لامپها مدام در حال انبساط و انقباض هستند. اگر سیستم خنککننده شما قادر به کنترل دمای لامپ نباشد، درزبندیها در نهایت از بین خواهند رفت.
توصیه من این است که برنامهای برای نگهداری منظم لامپها داشته باشید؛ همچنین باید به دنبال ترکهای ریز در کوارتز باشید. این کار کوچک، میتواند شما را از مشکلات بزرگ نجات دهد.
نحوه استفاده در محیط کار
وقتی شروع به وصل کردن لامپها میکنید، باید به یاد داشته باشید که نقاط اتصال معمولاً ضعیفترین بخشها هستند.
ما از کانکتورهای محکم استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون لرزشها میتوانند اتصالات را شل کنند، و اتصالات شل باعث ایجاد جرقههای کوچک میشوند؛ در چنین محیطی، این امر میتواند منجر به فاجعه شود.
تعویض لامپ کار سادهای است؛ اما لطفاً هر بار درزبندیها را دوباره بررسی کنید. حتی یک شکاف کوچک نیز میتواند ایمنی کل ماژول خشککننده را از بین ببرد. بررسی این موضوع تنها یک ثانیه طول میکشد، اما این مهمترین بخش کار است.