UHP 超純度 ヒーターランプ

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 もし、クラス100のクリーンルームを運用しているのであれば、その手順はよくわかっていることでしょう。単に温度を一定に保つだけでは不十分です。重要なのは、目に見えない粒子やガスです。これらが原因で、わずか数秒でウエハーの品質が悪化してしまいます...