電子機器用精密赤外線ヒーター

ファブフロアでは、フォトレジストのベイクは任意ではなく、熱予算そのものです。ソフトベイクやハードベイクの温度をわずか2℃変えるだけで、クリティカルディメンションの制御やサイドウォールプロファイルが変動します。ウエハーレベルの均一性は、出荷可能なロットと廃棄されるロットの境界線です。 内部で重要なポ...