UHP 超純度 ヒーターランプ
クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
もし、クラス100のクリーンルームを運用しているのであれば、その手順はよくわかっていることでしょう。単に温度を一定に保つだけでは不十分です。重要なのは、目に見えない粒子やガスです。これらが原因で、わずか数秒でウエハーの品質が悪化してしまいます...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
生物センサーにIRランプを使用する際の安全性の確保
生物センサーを作る際、化学的な洗浄が終わった後には、通常、IRランプを使って物質を乾燥させたり硬化させたりする必要があります。しかし、問題はこうです。もし可燃性の溶剤を扱っている場合、通常のIRランプはまるで時限爆弾のようなものです。ちょっとした...
半導体用の金コーティングインフラーアレッドランプ
化学洗浄において、金コーティングされたIRランプを使って安全を確保しよう
正直に言えば、半導体製造工場での化学洗浄は非常に危険な作業です。火災や爆発を引き起こしそうな溶剤を扱うわけですからね。通常の赤外線ランプをその環境に使ったら、問題が生じるだけです。
だからこそ、私たちは特別な密封処理が施され...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
クリーンルームでのIRヒーターの安全かつ安定した使用のために
クリーンルームで作業を行う際には、「ほぼ完璧」というだけでは不十分です。高精度な機器を扱っているため、わずかな電気的な不具合でも、生産ライン全体が停止したり、敏感なセンサーが破損したりする可能性があります。これは本当に深刻な状況です。...
オゾンフリー赤外線ランプ
可燃性のある洗浄エリアでの安全な作業方法
もし、化学物質を使用する洗浄ラインで赤外線加熱を行っているのであれば、その危険性はよくご存知でしょう。ここでは揮発性の高い溶剤や可燃性のある蒸気が存在します。つまり、非常に危険な環境です。
問題は、一般的な短波ランプが紫外線を放出し、それによってオゾン...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
バイオセンサー製造における熱の漏れを防ぐ方法
バイオセンサーを作る際、基板上には特定の量の熱が必要です。しかし問題は、一般的なヒーターではエネルギーがあちこちに散逸してしまうことです。その結果、すべての「廃熱」が半導体装置の内壁に蓄積されてしまいます。もし装置の外殻が触れるほど熱くなってしまうと、...
赤外線ランプ用アルミニウム反射器
熱を必要な場所に効率的に届ける方法 スマートな製造工場を構築する際、高効率なIRランプを選ぶのは簡単です。しかし本当に厄介なのは、その熱がどこに行くかを管理することです。
エネルギーが部屋全体を温めたり、機械の筐体を壊したりしては困ります。そこで役立つのがアルミニウム製の反射板です。これらは、放射...
洗浄用防水赤外線ランプ
なぜ半導体ウェーハを乾燥させるのに金が使われるのか？ ウェーハの洗浄工程を行う際には、いかにしてバランスを取るかが重要です。表面を素早く乾燥させる必要がありますが、強すぎると熱ストレスによってウェーハが変形してしまいます。 ここで私たちの装置が役立ちます。防水機能を持つ赤外線ランプと、金でコーティ...
カーボンファイバー赤外線ランプ工場
オーブンが加熱するのを待って時間を無駄にしないでください。
もしまだ半導体の処理において熱風を利用しているのであれば、その不便さはご存知でしょう。基本的には待つしかありません。まず空気を加熱し、次にチャンバーの壁を加熱し、最終的にウェハーを加熱するのです。とても遅く、面倒な作業です。
しかし、カー...
認定インフラーアレッド硬化ランプ製造業者
ウェーハにより多くの熱を与える方法
ファブでウェーハを加熱する際、単に出力を上げればいいと思いがちです。しかし、そのエネルギーが実際にシリコンに届かなければ意味がありません。
ほとんどの場合、標準的なアルミニウム製の反射器が使われますが、問題点があります。それは、アルミニウムが余分なエネルギーを吸...
RTPシステム用ランプの最安価格
RTPシステム用ランプ：最も過酷なウェーハ処理に対応するために開発されました
RTPランプについて話しましょう。これらは、先端半導体ウェーハの処理で最も厳しい条件下で使用されるように開発されました。その目的とは、スペースを取らずに安定した高密度の熱を供給することです。生産ラインが高速で動作している...
ウェーハ硬化ランプ用反射板
わずか0.3℃の温度変動だけで、フォトレジストの特性が変化してしまいます。その影響はすぐに現れ、リソグラフィー処理時のエラーやスクラップの増加、工程の遅延といった問題につながります。ウェーハを加熱するランプの性能というのは単なる理論上のものではなく、繰り返し可能な温度制御や、プロセス中に粒子が発生...
ツインチューブ型の金メッキライト
300mmウェーハの場合、ソフトベイクの際に半度ほどの温度変動があったり、ハードベイクへの移行が不十分だったりするだけで、CDが動いてしまい、品質が低下してしまいます。私たちは、このような熱的な不安定性を排除するために、二重管構造で金コーティングされたランプを開発しました。
技術的に重要な点 二重...
赤外線ランプ取り付けクリップ
300mmラインにおいては、フォトレジストを加熱する際に0.3°Cのずれが生じるだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。したがって、スケジューラーはそのようなずれを決して容認しません。
その赤外線ランプ用の取り付けクリップは、単なる小さな部品ではありません。それは、温度の均一性を...
アプライドマテリアルズ製装置用赤外線ランプ
ライン上では、ベイクモジュールが各シフトで必ず感じる静かなボトルネックとなっています。レシピを設定し、モデルが予測する温度が狙い通りに到達し、その後もサイクルごとに安定して維持されることを期待します。ランプが設定温度を下回ると、フォトレジストの脱溶媒が不完全となり、クリティカルディメンション...
ファブIRランプ用クォーツスリーブ
リソグラフィ工程において、ソフトベークおよびハードベークは単にフォトレジストの乾燥を意味するものではない。これらはライン幅制御、サイドウォールプロファイル、ウェーハがライン全体をスムーズに流れるかどうかを決定する熱予算を設定する工程である。IRランプの性能が不安定であれば—ある箇所でのホットスポッ...