実際に重要な場所に、より多くの熱を与える方法 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、トロリータイプのヒーターの問題を知っているでしょう。ウェーハの表面温度を正確に制御する必要がありますが、他の機器が巨大なラジエーターのようになってしまっては困ります。 多くの人は、通常のアルミニウム製の反射...

化学洗浄において、金コーティングされたIRランプを使って安全を確保しよう 正直に言えば、半導体製造工場での化学洗浄は非常に危険な作業です。火災や爆発を引き起こしそうな溶剤を扱うわけですからね。通常の赤外線ランプをその環境に使ったら、問題が生じるだけです。 だからこそ、私たちは特別な密封処理が施され...

半導体ウェーハを扱う際には、単に熱を強くするだけでは不十分です。重要なのは、その熱がどこに行くかということです。 一般的な反射板は、赤外線をあちこちに散乱させてしまい、それはエネルギーの無駄遣いに他なりません。私たちは別の方法を採用しています。金でコーティングされた反射板を使うことで、エネルギーの...

ウェーハを完全に清潔に保つための方法：より優れた加熱手段 クラス100のクリーンルームで作業しているなら、その厳しさはご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや微小な粒子があるだけで、作成したウェーハ全体が廃棄処分になってしまいます。本当に悩ましい問題です。一般的なヒーターでは、安定した状態を維持する...

リソグラフィー工程において、フォトレジストの加熱処理は単なる前処理段階ではありません。それは、線幅制御を実現するための重要な要素です。もし加熱プレートの位置がずれてしまうと、ウェハ全体の均一性も同じように乱れてしまい、不良品の量が急激に増えてしまいます。 実際に重要なのは何か？ 私たちがこの加熱プ...