웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

왜 웨이퍼 가공에는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한가요? 만약 여전히 웨이퍼 가공을 위해 공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 그건 마치 물리법칙과 싸우는 것과 같습니다. 생각해보세요. 강제 공기 순환 방식에서는 웨이퍼가 열을 느끼기 전에 먼저 챔버 내의...