웨이퍼에 더 많은 열을 공급하는 방법 팹에서 웨이퍼를 가열할 때, 단순히 전력을 높이는 것이 해결책이라고 생각하기 쉽습니다. 하지만 그 에너지가 실제로 실리콘에 도달하지 못한다면 아무 소용이 없습니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용하지만, 이 방법...

약 0.3°C만큼의 미세한 온도 변화라도 포토레지스트의 특성에 영향을 줍니다. 이러한 변화는 리소그래피 공정에서 오류가 발생하거나, 웨이퍼 폐기량이 증가하며, 공정 일정이 지연되는 결과를 초래합니다. 웨이퍼 경화용 램프의 성능은 단순한 이론이 아니라, 반복 가능한 온...