왜 웨이퍼 가공에는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한가요? 만약 여전히 웨이퍼 가공을 위해 공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 그건 마치 물리법칙과 싸우는 것과 같습니다. 생각해보세요. 강제 공기 순환 방식에서는 웨이퍼가 열을 느끼기 전에 먼저 챔버 내의...

라인 공정에서 베이크 모듈은 매 교대마다 느껴지는 조용한 병목 구간이다. 레시피를 설정하면 모델이 예측한 온도에 도달할 것으로 기대하고, 그 온도가 사이클마다 일정하게 유지되기를 기대한다. 램프 출력이 부족하면 포토레지스트가 완전히 탈용매되지 않아 중요한 치수 제어가...