와이어 히팅 과정에서도 클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
반도체 웨이퍼를 가열할 때, 온도 제어만으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 바로 미세한 입자들입니다. 클래스 100급 환경에서는 가열 요소에서 떨어져 나온 아주 작은 조각들조차도 웨이퍼의 전체 생산성을 망칠 수 있습니다. 이는 매우 성가신 일이며, 비용도 많이 듭니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이렇게 하면 그러한 위험을 없앨 수 있습니다.
재료의 중요성
일반적인 유리나 저품질 석영은 열에 견디지 못합니다. 스트레스를 받으면 가스가 발생하거나, 더 심하면 조각들이 떨어져 나옵니다. 결국 미세한 파편들이나 화학물질들이 웨이퍼 위로 날아갑니다.
우리는 고순도 석영을 사용하는데, 그 이유는 표면에서 결정화되거나 변질되지 않기 때문입니다. 게다가 적외선은 에너지를 직접 기판에 전달하기 때문에 강제적인 공기 흐름이 필요하지 않습니다. 그렇기 때문에 오염물질이 작업 공간 전체로 퍼지는 것을 막을 수 있습니다. 조용하고 깨끗하며 예측 가능한 환경이 만들어집니다.
적절한 열량 조절
우리는 램프의 성능을 최적화하기 위해 텅스텐 필라멘트의 밀도와 석영 벽의 두께를 조절했습니다. 이를 통해 원하는 스펙트럼 출력을 얻을 수 있습니다.
빠른 처리를 위해 높은 출력이 필요하다면, 고출력 설정을 사용하면 됩니다. 하지만 주의해야 할 점은, 케이스의 배기 시스템이 그러한 열을 감당할 수 있는지 확인해야 한다는 것입니다. 냉각 성능이 부족하면 센서에 문제가 생길 수 있으니 주의해야 합니다.
설치 및 석영 사용 시의 주의사항
우리는 커넥터를 표준형으로 설계하여, 기존의 가열 장비에 쉽게 연결할 수 있도록 했습니다. 또한, 램프의 끝부분에 있는 밀봉 부분도 철저히 관리했습니다. 왜냐하면 그곳이 가장 자주 누수가 발생하는 곳이기 때문입니다.
하지만 가장 중요한 것은 절대로 맨손으로 램프를 만지지 마세요라는 것입니다. 석영은 깨지기 쉽지만, 동시에 민감하기도 합니다. 피부에서 나오는 기름기가 램프에 손상을 줄 수 있습니다. 따라서 청소할 때는 무두질된 장갑과 이소프로필 알코올을 사용해야 합니다.
올바르게 관리한다면, 이 램프들은 수천 번의 주기를 거쳐도 단 한 개의 미세한 입자도 생성하지 않고 안정적으로 작동할 것입니다.