Meer hitte op je wafers krijgen
Wanneer je wafers in een fabriek verhit, is het gemakkelijk om te denken dat het antwoord gewoon is om de vermogenssterkte van de lamp op te voeren. Maar de hoeveelheid energie doet er niet toe als die energie nooit echt bij het silicium komt.
De meeste mensen gebruiken standaard aluminiumreflectoren. Maar hier is een probleem: ze nemen veel te veel energie op en verspreiden deze vervolgens weer. Dat is zonde van energie. Daarom gebruiken we goudcoatings.
Waarom goud?
Het heeft te maken met de manier waarop infraroodlicht zich gedraagt. Aluminium is prima geschikt voor eenvoudig opwarmen, maar goud is veel effectiever bij het weerspiegelen van infraroodstralen.
In plaats van dat de fotonen ergens anders terechtkomen en de behuizing van de lamp verwarmen (wat niks helpt voor de wafers), wordt de energie door een dunne laag hoogzuiver goud precies naar waar het nodig is gestuurd. Hierdoor krijg je een hoger temperatuurniveau, zonder dat je de stroomvoorziening onder druk zet.
Het probleem van ‘koude plekken’ oplossen
We plakken geen goud zomaar op een stuk metaal. We letten goed op de vorm van de reflector, zodat de hitte goed kan worden geconcentreerd.
Waarom? Omdat niets een productieproces sneller kan verstoren dan een ongelijkmatige warmtestroom. Als één kant van de wafer koeler is dan de andere, zal dit leiden tot oneffenheden in het verhittingsproces. We streven ernaar om een evenmatige warmtestroom over het hele oppervlak te krijgen.
De echte compromissen
Laten we eerlijk zijn: goud is duur. Veel duurder dan aluminium.
Het is in eerste instantie een risico, maar je moet het grotere plaatje zien. Je spendeert meer geld aan de lamp, maar je bespaart tegelijkertijd elektriciteit. Op de lange termijn loont het zich dus uit.
Maar hier kan het misgaan: goud is zacht. Als het onderhoudsteam de reflectoren met blote handen aanraakt, kunnen de oliën van hun huid zich in het oppervlak nestelen. Zodra dit gebeurt, neemt de reflectiviteit drastisch af.
Ik kan dit niet genoeg benadrukken: gebruik handschoenen. Houd je aan de regel ‘geen aanraking’ tijdens de installatie. Als de reflectoren vies worden, merk je vrijwel meteen dat de snelheid van het verhittingsproces afneemt. Houd ze schoon en zorg goed voor de verbindingen, dan blijft de energiedichtheid hoog.