Meer warmte waar het echt nodig is
Als je ooit in een halfgeleiderzuiverruimte hebt gewerkt, weet je hoe moeilijk het is om met behulp van elementen voor het opwekken van warmte te werken. Je wilt dat het oppervlak van de chip op een precieze temperatuur komt, maar je wilt niet dat de rest van de apparatuur verandert in een soort enorme radiator.
De meeste mensen gebruiken standaard aluminiumreflectoren. Het probleem? Aluminium neemt te veel infraroodstraling op. Hierdoor gaat er veel energie verloren aan het opwarmen van de behuizing van de heater zelf.
Hier komt goud om de hoek kijken.
Het klinkt luxueus, maar het gaat eigenlijk alleen om de wetten van de fysica. Goud is uitstekend in het weerkaatsen van nabij-infrarood licht. Wanneer we aluminium vervangen door een gouden coating, wordt de warmte niet meer opgenomen door de behuizing, maar gaat deze rechtstreeks naar de chip. Hierdoor wordt de warmte beter geconcentreerd en kost het minder energie.
Bovendien maakt dit het gemakkelijker om de temperatuur in de ruimte onder controle te houden. Omdat de warmte niet meer verspreid wordt, hoeft het koelsysteem minder hard te werken om de zuiverruimte koel te houden.
Maar er is één nadeel: goud is zacht. Als het onderhoudsteam per ongeluk krassen maakt in het oppervlak van de coating, kan dat ernstige gevolgen hebben. Enkele krassen kunnen de efficiëntie van de apparaatuur verminderen – of erger nog: ze kunnen warmtepunten op de chip veroorzaken. Het is dus belangrijk om voorzichtig te zijn.
Laten we het nu hebben over de kosten. Ja, goud is duur. Maar als je gebruikmaakt van 300mm-chips, waarbij de temperatuurstabiliteit cruciaal is, dan compenseren zich de kosten al snel. Je kunt de lampen dan op een lagere sterkte gebruiken, waardoor je nog steeds je doelstellingen bereikt. Je hoeft je geen zorgen te maken over de belasting op de voedingsbronnen.
Nog een tip: gebruik altijd een PID-controller. Dat is de enige manier om dit goed te doen.
En probeer in ieder geval niet om een versleten reflector ‘op te lossen’ door de sterkte van de lamp te verhogen. Dan branden de filamenten veel sneller af dan nodig is. Houd je liever aan de aanbevolen instellingen voor de coating, en laat het goud het zwaar werk doen.