Waarom we IR-technologie gebruiken voor de verwerking van halfgeleiderchips
In halfgeleiderfabrieken is ‘zuiverheid’ niet zomaar een doel – het is zelfs essentieel. Als er tijdens het drogen of harden ook maar een klein beetje residu achterblijft, heb je problemen. Daarom maken we gebruik van nauwkeurige IR-sensoren en -emitters. Hierdoor kunnen we chemische oplosmiddelen en verbrandingsverwarmers helemaal vermijden.
Vergeet het opwarmen van de lucht maar.
De meeste mensen denken aan ovens, waarin de lucht wordt opgewarmd in de hoop dat deze warmte overgaat op de chip. Dit proces is traag en inefficiënt. IR-technologie werkt anders: het maakt gebruik van elektromagnetische straling om de moleculen in het materiaal zelf te activeren. Het proces is dus instant. Bovendien zijn er geen verwarmingselementen die vuil in de schone ruimte brengen. Als je wilt voldoen aan milieunormen of wilt voorkomen dat metaaldeeltjes in de ruimte terechtkomen, is dit waarschijnlijk de enige manier.
We richten ons op het juiste punt, niet op de hele ruimte.
Het leuke aan deze technologie is dat we de golflengte kunnen instellen. In plaats van de hele chip te verhitten, richten we ons op de specifieke absorptiegolven van het lijmmiddel of de fotoresist. Op deze manier wordt alleen dat deel verhit dat nodig is. Dit bespaart veel energie. Je hoeft geen enorme metalen constructies op te warmen alleen maar om één 300mm-chip te harden. Omdat de apparaten zo compact zijn, kun je grote convectieovens wegdoen en meer ruimte vrijmaken. Ook je HVAC-systeem zal hiervan profiteren.
Er is echter wel een nadeel…
Hoogintensieve IR-technologie is zeer effectief. Dit is goed om chips snel te verwerken, maar het maakt het moeilijk om de temperatuur onder controle te houden. Als de sensoren iets te ver afstaan van de juiste waarde, ontstaan er lokale hete plekken. Dit kan leiden tot beschadigde chips. Om dit te voorkomen, moeten deze emitters worden gecombineerd met snelle PID-regelaars, zodat de temperatuur goed onder controle blijft.
Nog een tip: gebruik altijd geïsoleerde kabels. Anders kan elektromagnetisch ruis de sensoren beïnvloeden en leiden tot verkeerde metingen. Het is een klein detail, maar het maakt wel verschil tussen een perfecte productie en een lading defecte producten.