Het behouden van een schone omgeving in een Class 100-omgeving tijdens het verhitten van halfgeleiderwafers
Als je halfgeleiderwafers verhit, weet je vast al dat temperatuurregulatie nog maar de helft van het werk is. De echte uitdaging zijn de deeltjes. In een Class 100-omgeving kan één klein stukje dat loskomt van een verwarmingselement er voor zorgen dat al je productieverlies wordt. Dat is frustrerend en kostbaar.
Daarom gebruiken we voor onze infraroodlampen hoogzuiver synthetisch kwarts. Hierdoor wordt dit risico volledig weggenomen.
Waarom het materiaal belangrijk is
Standaard glas of goedkope kwartssoorten kunnen de hitte niet aan. Wanneer ze onder druk komen te staan, beginnen ze gas af te geven of, erger nog, te versplinteren. Hierdoor ontstaan er microscopische schilfers of chemische dampen die rechtstreeks op de wafer terechtkomen.
We gebruiken hoogzuiver kwarts omdat dit materiaal zich niet kristalliseert of verslechtert op het oppervlak. Bovendien stuurt infraroodstraling energie rechtstreeks naar het substraat, zodat er geen extra lucht nodig is. Hierdoor blijven er geen vervuilende stoffen rondvliegen in het werkgebied. Het is stil, schoon en voorspelbaar.
Het juiste niveau van warmte bereiken
We hebben deze lampen zo aangepast dat ze snel op temperatuur kunnen komen en dat de temperatuur nauwkeurig kan worden geregeld. Door de dichtheid van de wolframdraad en de dikte van de kwartswand aan te passen, kunnen we precies het gewenste spectrum bereiken.
Als je veel kracht nodig hebt voor snel verwerken, dan leveren de hoge-vermogenslampen dat op. Maar let op: zorg ervoor dat de ventilatie van je apparaat wel in staat is om deze hitte aan te kunnen. Als de koeling te zwak is, kunnen er problemen ontstaan met de sensoren. Dat wil je natuurlijk niet.
Installatie en de “gouden regel” voor kwarts
We hebben de connectors standaard gehouden, zodat ze gemakkelijk in je bestaande verwarmingssystemen kunnen worden geplaatst. We hebben ook veel moeite gestoken in de afsluitingen bij de uiteinden van de lampen – daar vindt meestal lekken plaats. Maar hier is het allerbelangrijkste: raak deze lampen nooit met blote handen aan.
Kwarts is broos, maar ook gevoelig. De oliën op je huid kunnen warmtespots veroorzaken, waardoor de lamp te vroeg kapotgaat. Gebruik dus handschoenen zonder vezels en isopropylalcohol om de lampen schoon te maken.
Behandel ze goed, verbind ze correct aan het circuit, en dan blijven deze lampen duizenden keren stabiel, zonder dat er ook maar één deeltje vrijkomt.