Как сохранить чистоту в чистой комнате класса 100
Если вы управляете чистой комнатой класса 100, вы знаете, что это не так просто. Речь идет не только о поддержании определенной температуры. Важны также невидимые факторы – частицы и газы, которые могут испортить целую партию пластин за секунды.
Большинство стандартных инфракрасных ламп представляют собой проблему в таких условиях. Когда они нагреваются, они начинают выделять металлические примеси и органические вещества. Поэтому мы используем синтетический кварц высокой чистоты для устройств с УЛХ-технологией. Это предотвращает загрязнение поверхности материала от источника тепла.
Секрет заключается в кварце.
Мы используем синтетический кварц высокой чистоты, потому что дешевый кварц содержит большое количество бора и алюминия. Когда такие дешевые лампы нагреваются, они начинают выделять вредные вещества, что серьезно влияет на чистоту материала.
Мы также используем хлорновое освещение. Это способствует предотвращению испарения вольфрамовой нитью и ее прилипания к внутренней поверхности лампы. Если вольфрам накапливается на стекле, свет от лампы меняется, и она перестает работать раньше времени.
Работа с теплом
Когда лампы с высокой мощностью начинают работать, температура растет очень быстро. Это хорошо для быстрого нагрева деталей, но это создает большую нагрузку на корпус лампы. Необходимо убедиться, что система охлаждения сможет справиться с этой нагрузкой. Если воздух не циркулирует правильно, концы лампы перегреваются, и кварц может разрушиться.
Чтобы обеспечить стабильность, мы используем соединители типа R7 или Sk15. Они обеспечивают надежное электрическое соединение, что позволяет избегать проблем, связанных с электрическими разрядами в вакууме или контролируемой среде.
Несколько практических советов
Эти лампы можно использовать в большинстве высокотехнологичных устройств для обработки полупроводников или создания оптических покрытий. Они обеспечивают чистое излучение инфракрасного света, которое проникает глубоко в материал.
Но есть один недостаток: кварц не любит отпечатки пальцев. Если техники касаются стекла без перчаток во время установки, кожные жиры проникают в кварц. Это приводит к появлению «горячих точек», из-за которых лампа может сломаться раньше времени.
Необходимо сохранять стекло в чистоте. Иначе придется заменять лампы каждые несколько сотен часов, а никто не хочет тратить выходные на это.