Sınıf 100 temiz oda ortamını gerçekten temiz tutmak
Eğer bir Sınıf 100 temiz oda işletiyorsanız, prosedürleri biliyorsunuzdur. Burada mesele sadece belirli bir sıcaklıkta kalabilmek değildir; görünmeyen parçacıklar ve gazlar da önemlidir. Bu parçacık ve gazlar, birkaç saniye içinde üretilen waferlerin kalitesini bozabilir.
Standart kızılötesi lambalar bu durumda sorun yaratır. Isındıklarında metaller veya organik maddeler yayılır. Bu yüzden UHP (Ultra Yüksek Saflık) sistemlerinde sentetik silika kuvars kullanıyoruz. Böylece ısı kaynağı, ürünlerin kalitesini bozmaz.
Sır kuvarsında yatıyor.
Yüksek saflıklı sentetik kuvars kullanıyoruz; çünkü ucuz kuvarslar bor ve alüminyum içerir. Bu ucuz lambalar ısındığında gaz salar ve bu da saflık seviyeleri için ciddi bir tehlikedir.
Ayrıca halojen döngüsü de kullanıyoruz. Bu sistem, tungsten filamanın buharlaşmasını ve tüpün iç yüzeyine yapışmasını engeller. Eğer tungsten camın üzerinde birikirse, ışık rengi değişir ve lamba beklenenden daha erken bozulur.
Isıyla başa çıkmak
Bu yüksek güçlü UHP tüpleri kullanıldığında durum oldukça zorlaşır. Isı yoğunluğu çok yüksektir. Bu durum, parçaların hızlıca ısınması açısından iyidir; ancak bu durum tüpün gövdesi için büyük bir yük oluşturur. Soğutma sistemlerinin bu yükü kaldırabildiğinden emin olmalısınız. Eğer hava düzgün hareket etmezse ve tüpün uçları aşırı ısınırsa, kuvars kırılabilir.
Durumu stabil tutmak için R7s veya Sk15 konektörleri kullanıyoruz. Bunlar sağlam bir elektrik bağlantısı sağlar; böylece vakum veya kontrollü ortamlarda çalışırken ark oluşması gibi sorunlar yaşamazsınız.
Birkaç pratik ipucu
Bu lambalar genellikle çoğu yüksek kaliteli yarı iletken veya optik kaplama ekipmanlarına uyumludur. Temiz ve kısa dalga boyundaki kızılötesi ışık sayesinde malzemelerin derinliklerine ulaşılabilir.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: UHP kuvarsı parmak izlerinden hoşlanmaz. Eğer teknisyenler montaj sırasında eldivensiz olarak camı dokunursa, cilt yağları kuvarsa işler. Bu da tüpün erken bozulmasına neden olur. Camın temiz kalmasına dikkat edin. Aksi takdirde her birkaç yüz saatte bir tüp değiştirmek zorunda kalırsınız ve kimse hafta sonunu bununla geçirmek istemez.