在300毫米的加工线上，如果在软烘阶段出现半度的温度偏差，或者从软烘过渡到硬烘时的温度控制不准确，都可能导致CD光盘出现缺陷，进而降低产量。我们采用了双管结构、带金涂层的灯源，以此消除各工序中的温度波动问题。
从技术层面来看： 这种双管结构、带金涂层的灯源能够发出短波红外光，这些光线可以直接穿透光刻胶和薄膜。金涂层则能将红外光反射回目标物体上，从而提高效率并降低灯管的最高温度——这有助于减少颗粒产生的风险。在整块晶圆上，温度控制精度可达±0.1°C，而且当炉门打开或关闭后，温度也能迅速稳定下来。经过5,000小时以上的使用后，其发光强度的波动仍小于5%，因此无需频繁调整参数即可维持稳定的工艺流程。
该灯源可以轻松安装在标准的双灯装置中，适用于各种干燥模块。它兼容1级到100级的洁净室环境，在正常的气流条件下不会产生任何颗粒物。
为什么它在实际生产中有效： 在晶圆干燥过程中，该灯源能够去除表面的水分，而不会破坏薄膜结构，从而减少因温度过高而导致的缺陷。在光刻过程中，它能够精确控制软烘和硬烘阶段的温度，从而减少驻波现象，提升工艺控制的精度。这样一来，就可以缩短处理时间，降低能耗，同时减少废品率。由于灯源能够保持固定的温度曲线，因此无需在每批次生产之间不断调整参数，从而确保产品质量的稳定性。
需要注意的事项： 必须确保灯源与反射器的几何结构以及炉内气流相匹配。如果反射器位置不当，就会出现局部过热的情况。如果气流不足，灯管的温度也会上升，从而缩短其使用寿命。虽然金涂层具有出色的耐久性，但它不耐溶剂和强烈的清洁剂。请使用规定的清洁方法，切勿触碰涂有金涂层的表面。如果安装得当，这种双管结构、带金涂层的灯源可以全天候运行，维护也相对简单，从而确保工艺流程的稳定性。