在晶圆厂中，光刻胶烘烤期间的温度偏移或干燥步骤的温度漂移绝非“故障”。它表现为线宽变化，降低良率，并导致非计划停机。传统加热器在晶圆上努力维持±0.1°C的温度波动，每次循环都会产生粒子，可能使洁净室内的粒子计数超标。我们研发的工业晶圆厂加热器替代方案旨在消除这种变异性。 技术重点 我们选择了中波...

在光刻车间，软烘烤和硬烘烤不仅仅是为了干燥光刻胶。它们设定了热预算，决定了线宽控制、侧壁轮廓以及晶圆在后续工艺中的流动性。当红外灯表现不佳——某处过热，另一处偏冷——损失的不只是一个批次，还会带来报废、返工以及工艺裕度的缓慢流失。 我们为晶圆厂红外灯设计了石英套管，旨在从根源上减少这种波动：正是在...