用于半导体加热器的热电偶

保持晶圆洁净无瑕：更高效的加热方式 如果您在100级洁净室中工作，那么您一定知道其中的难度。哪怕有一粒微小的灰尘或碎片，整批晶圆就会报废。这简直就是一场噩梦。大多数普通加热器根本无法满足这种需求——因为它们会在需要稳定工作的时候释放出气体或颗粒物。 因此，我们选择了高纯度的合成石英红外灯。这类加热...