オーブンが加熱するのを待って時間を無駄にしないでください。
もしまだ半導体の処理において熱風を利用しているのであれば、その不便さはご存知でしょう。基本的には待つしかありません。まず空気を加熱し、次にチャンバーの壁を加熱し、最終的にウェハーを加熱するのです。とても遅く、面倒な作業です。
しかし、カーボンファイバー製のIRランプなら、そういうことはありません。部品の周囲の空間を加熱する代わりに、エネルギーを直接ウェハーに照射します。これにより、迅速に温度を上昇させることができます。
なぜこれが重要なのか
熱風では、状態が安定するまでに数分かかります。しかし、カーボンファイバーを使えば、数秒で済みます。
また、従来の金属製の要素とは異なり、カーボンファイバーのフィラメントは熱を保持しません。そのため、ほぼ即座に所定の温度に到達します。これにより、スムーズに温度を上昇・下降させることができます。強制送風式のオーブンでよく起こる、不要な温度上昇の心配もありません。とてもコントロールしやすいのです。
スペースの節約
さらに、スペースの面でもメリットがあります。大きな送風機や複雑なダクトを使わずに済みます。
IRランプはコンパクトなので、必要な場所に正確に設置することができます。ウェハーの特定の領域だけを加熱し、全体を不要な熱で覆うことはありません。これにより、装置の占有スペースが減り、プロセスも効率的になります。
現実的な注意点
もちろん、これは魔法の杖ではありません。正しい設定が必要です。
ランプの配置が間違っていると、熱が集中してしまいます。単純に設置するだけでは不十分で、熱が均等に拡散するように適切な反射板が必要です。距離が近すぎるとウェハーが損傷する可能性があります。逆に遠すぎると、先ほど述べたような速さは得られません。
最後に、電源のことも確認してください。これらのランプは初期段階で大量の電流を消費するので、電力供給が十分であることを確認してください。