ウェーハにより多くの熱を与える方法
ファブでウェーハを加熱する際、単に出力を上げればいいと思いがちです。しかし、そのエネルギーが実際にシリコンに届かなければ意味がありません。
ほとんどの場合、標準的なアルミニウム製の反射器が使われますが、問題点があります。それは、アルミニウムが余分なエネルギーを吸収してしまうことです。これは無駄遣いに他なりません。だからこそ、金コーティングを使用するのです。
なぜ金なのか？
それは、赤外線の性質に関係しています。アルミニウムは基本的な加熱には適していますが、赤外線を反射する能力に関しては金の方が優れています。
光子が無駄に散乱してランプのケースを温めてしまう代わりに、高純度の金の薄層がそのエネルギーを正確に必要な場所に送り込みます。そうすることで、電源に負担をかけることなく、より高い温度を得ることができます。
「冷却ポイント」の問題を解決する
私たちは単に金属に金を塗るだけではありません。反射器の曲率にも細心の注意を払い、熱の流れを集中させます。
なぜかというと、不均一な温度分布は工程を台無しにしてしまうからです。ウェーハの一方がもう一方よりも低温だと、ウェーハが変形したり、均一に加熱されない可能性があります。私たちは、ウェーハ全体に均一で安定した熱が行き渡るようにしています。
実際のトレードオフ
正直に言って、金は高価です。アルミニウムよりもはるかに高価です。
一見するとリスクが高いように思えますが、全体的な状況を考える必要があります。ランプには多額の費用がかかりますが、工場全体での電力の無駄遣いを防ぐことができます。長期的に見れば、その投資は報われます。
ただし、注意すべき点があります。金は柔らかいのです。
もしメンテナンス担当者が素手で反射器を触ったら、彼らの皮脂が表面に付着してしまいます。そうなると、反射率が低下してしまいます。
繰り返しますが、必ず手袋を使ってください。設置時には「触らない」という厳格なルールを守ってください。光学部品が汚れると、加熱速度がすぐに低下します。常に清潔に保ち、正しく接続すれば、エネルギー密度を維持できます。