웨이퍼에 더 많은 열을 공급하는 방법
팹에서 웨이퍼를 가열할 때, 단순히 전력을 높이는 것이 해결책이라고 생각하기 쉽습니다. 하지만 그 에너지가 실제로 실리콘에 도달하지 못한다면 아무 소용이 없습니다.
대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용하지만, 이 방법에는 문제가 있습니다. 알루미늄은 너무 많은 에너지를 흡수하고 산란시켜버립니다. 이는 낭비일 뿐입니다. 그래서 우리는 금 코팅을 사용합니다.
왜 금일까요?
그것은 적외선의 특성과 관련이 있습니다. 알루미늄은 기본적인 가열에는 적합하지만, 적외선을 반사하는 능력 면에서는 금이 훨씬 우수합니다.
광자들이 헛되이 퍼져나가서 램프의 외부를 데우는 대신, 고순도 금 층이 그 에너지를 정확히 필요한 곳으로 보냅니다. 그 결과, 전력 공급에 부담을 주지 않고도 더 높은 온도를 얻을 수 있습니다.
“차가운 부분” 문제 해결하기
우리는 금을 그냥 금속 위에 바르는 것이 아니라, 반사체의 곡률을 세심하게 조절하여 열이 균일하게 분배되도록 합니다.
왜일까요? 열 분포가 불균일해지면 웨이퍼가 비틀리거나 고르게 가열되지 않습니다. 우리는 웨이퍼 전체에 균일하고 일정한 열이 가해지도록 노력합니다.
현실적인 절충점
솔직히 말해서, 금은 비쌉니다. 알루미늄보다 훨씬 비싸죠.
처음에는 다소 위험해 보일 수 있지만, 전체적인 상황을 고려해야 합니다. 램프에 더 많은 비용을 지출하더라도, 팹 전체의 에너지 낭비를 줄일 수 있습니다. 장기적으로는 그만한 가치가 있습니다.
하지만 문제는 금이 부드럽다는 점입니다.
만약 유지보수팀이 맨손으로 반사체를 다룬다면, 피부에서 나오는 기름이 반사체 표면에 남게 됩니다. 그러면 반사율이 크게 떨어집니다.
반드시 장갑을 착용해야 합니다. 설치 시에는 절대로 손으로 만지지 않는 것이 중요합니다. 만약 반사체가 더러워지면, 가열 속도가 즉시 떨어집니다. 반사체를 깨끗하게 유지하고 올바르게 연결해두면, 에너지 밀도를 안정적으로 유지할 수 있습니다.