化学洗浄において、金コーティングされたIRランプを使って安全を確保しよう 正直に言えば、半導体製造工場での化学洗浄は非常に危険な作業です。火災や爆発を引き起こしそうな溶剤を扱うわけですからね。通常の赤外線ランプをその環境に使ったら、問題が生じるだけです。 だからこそ、私たちは特別な密封処理が施され...

300mmウェーハの場合、ソフトベイクの際に半度ほどの温度変動があったり、ハードベイクへの移行が不十分だったりするだけで、CDが動いてしまい、品質が低下してしまいます。私たちは、このような熱的な不安定性を排除するために、二重管構造で金コーティングされたランプを開発しました。 技術的に重要な点 二重...