省エネ型半導体ヒーター

リソグラフィー工程において、フォトレジストの加熱処理は単なる前処理段階ではありません。それは、線幅制御を実現するための重要な要素です。もし加熱プレートの位置がずれてしまうと、ウェハ全体の均一性も同じように乱れてしまい、不良品の量が急激に増えてしまいます。 実際に重要なのは何か？ 私たちがこの加熱プ...