ツインチューブ型の金メッキライト

300mmウェーハの場合、ソフトベイクの際に半度ほどの温度変動があったり、ハードベイクへの移行が不十分だったりするだけで、CDが動いてしまい、品質が低下してしまいます。私たちは、このような熱的な不安定性を排除するために、二重管構造で金コーティングされたランプを開発しました。 技術的に重要な点 二重...