半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

実際に重要な場所に、より多くの熱を与える方法 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、トロリータイプのヒーターの問題を知っているでしょう。ウェーハの表面温度を正確に制御する必要がありますが、他の機器が巨大なラジエーターのようになってしまっては困ります。 多くの人は、通常のアルミニウム製の反射...