ウェーハ加工用予備部品オンライン

ファブフロアでは、その90℃のソフトベイクが0.5度のずれで「仕様内」に留まることはない。ライン幅のずれ、CD均一性の問題、スクラップとして現れる。必要なのは、動作が安定した熱制御であり、連続のラン、ウェーハ単位で安定していることだ。 技術的に重要なポイント 加熱要素およびアセンブリは、ウェーハレ...