ウェーハにより多くの熱を与える方法 ファブでウェーハを加熱する際、単に出力を上げればいいと思いがちです。しかし、そのエネルギーが実際にシリコンに届かなければ意味がありません。 ほとんどの場合、標準的なアルミニウム製の反射器が使われますが、問題点があります。それは、アルミニウムが余分なエネルギーを吸...

わずか0.3℃の温度変動だけで、フォトレジストの特性が変化してしまいます。その影響はすぐに現れ、リソグラフィー処理時のエラーやスクラップの増加、工程の遅延といった問題につながります。ウェーハを加熱するランプの性能というのは単なる理論上のものではなく、繰り返し可能な温度制御や、プロセス中に粒子が発生...