半導体ヒーター用サーミコップル

ウェーハを完全に清潔に保つための方法：より優れた加熱手段 クラス100のクリーンルームで作業しているなら、その厳しさはご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや微小な粒子があるだけで、作成したウェーハ全体が廃棄処分になってしまいます。本当に悩ましい問題です。一般的なヒーターでは、安定した状態を維持する...