ウェーハを完全に清潔に保つための方法：より優れた加熱手段
クラス100のクリーンルームで作業しているなら、その厳しさはご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや微小な粒子があるだけで、作成したウェーハ全体が廃棄処分になってしまいます。本当に悩ましい問題です。一般的なヒーターでは、安定した状態を維持することができず、ガスが漏れ出したり、粒子が飛び散ったりします。
そこで私たちは、高純度の合成石英IRランプを採用しました。これは普通のヒーターとは異なります。通常、高温環境下で汚染の原因となる金属不純物や有機物質を取り除いています。
秘密は石英にあります。
私たちが使用しているのは、不純物が極めて少ない融成シリカです。これにより、イオンが半導体基板内に入り込むのを防ぎます。石英製の外装は、タングステンフィラメントを密閉する役割を果たし、何も外に漏れ出しません。
また、短波長のIR光を利用しているため、熱が直接対象物に伝わります。周囲の空気を加熱するだけではありません。HVACシステムも、余計な負担をかけずに済むので助かります。
注意点もあります。
これらのランプは、高速かつ精密な動作を実現するために設計されています。既存の電源に合わせて、ワット数や電圧を調整することができます。
しかし、強力なため、石英が少し脆くなる可能性があります。急激な温度変化があると、裂けてしまうこともあります。ゆっくりと、段階的に電力を上げていくのが良いでしょう。
設置方法について
これらのランプは、既存の加熱装置と交換して使用できるように設計されています。専用のコネクタを使用することで、電気的な接続部が密閉され、内部のハロゲンガスが中に留まります。
最後に、もしこれらのランプを高密度に配置する場合は、冷却システムをしっかり確認してください。熱量が非常に強いため、空気の流れが悪いと配線が壊れてしまいます。それは避けたいですよね。