ウェーハ加工ツール用温度センサー

なぜウェーハ処理においてはIR加熱の方が強制送風より優れているのか もし依然としてウェーハの加熱に強制送風を利用しているのであれば、それはまさに物理法則に逆らって戦っているようなものです。 考えてみてください。強制送風の場合、ウェーハが熱を感じる前に、チャンバー内のすべての空気分子を加熱しなければ...