패브 IR 램프용 쿼츠 슬리브

리소그래피 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순히 포토레지스트를 건조하는 것을 넘어선다. 이 과정들은 라인폭 제어, 사이드월 프로파일, 그리고 웨이퍼가 라인의 나머지 공정을 원활하게 통과하는지를 결정하는 열 예산을 설정한다. IR 램프 성능이 떨어져 특정 지점...