웨이퍼 가공 예비 부품 온라인

fab 층에서, 90°C 소프트 베이크는 0.5도만 벗어나도 ‘규격 내’ 상태를 유지하지 못합니다. 이는 선폭 편차, CD 균일성 문제, 불량품 발생으로 드러납니다. 매 사이클, 웨이퍼마다 일정한 열 안정성이 필요합니다. 기술적으로 중요한 점 웨이퍼 레벨 균일성과 반...