Giữ cho môi trường làm việc ở cấp độ Class 100 luôn sạch sẽ trong quá trình gia nhiệt wafer
Nếu bạn đang thực hiện công việc gia nhiệt các wafer bán dẫn, bạn chắc hẳn đã biết rằng việc kiểm soát nhiệt độ chỉ là một phần của quy trình này thôi. Điều thực sự gây khó khăn chính là các hạt bụi. Trong môi trường Class 100, chỉ cần một hạt bụi nhỏ rơi xuống từ bộ phận gia nhiệt cũng có thể phá hủy toàn bộ sản phẩm được sản xuất. Điều này vừa gây phiền toái, vừa tốn kém chi phí.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao cho các bóng đèn hồng ngoại của mình. Việc này giúp loại bỏ hoàn toàn nguy cơ nêu trên.
Tại sao chất liệu lại quan trọng?
Thực tế là, thủy tinh thông thường hay thạch anh giá rẻ không thể chịu được nhiệt độ cao. Khi chúng bị căng thẳng, chúng sẽ bắt đầu giải phóng khí, hoặc tệ hơn nữa, vỡ thành những mảnh nhỏ. Những mảnh vỡ này cùng với các chất hóa học có thể bay vào wafer của bạn.
Chúng tôi chọn thạch anh có độ tinh khiết cao vì nó không bị kết tinh hay suy giảm chất lượng bề mặt. Hơn nữa, vì bức xạ hồng ngoại truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt wafer, nên bạn không cần dùng không khí để làm mát. Điều này giúp tránh việc bụi bẩn bay khắp nơi trong khu vực làm việc. Môi trường làm việc sẽ yên tĩnh, sạch sẽ và dễ kiểm soát.
Làm thế nào để kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác?
Chúng tôi đã điều chỉnh các bóng đèn này để chúng có thể hoạt động nhanh chóng và với thời gian gia nhiệt chính xác. Bằng cách điều chỉnh mật độ sợi tử kim và độ dày của lớp thạch anh, chúng tôi có thể đạt được mức năng lượng phù hợp với nhu cầu của mình.
Nếu bạn cần công suất cao để xử lý nhanh, thì các bóng đèn có công suất lớn sẽ phù hợp. Nhưng hãy chú ý rằng hệ thống tản nhiệt của bạn phải đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt được tạo ra. Nếu hệ thống tản nhiệt yếu, bạn sẽ gặp vấn đề liên quan đến các cảm biến, và đó là điều mà bạn không muốn xảy ra.
Việc lắp đặt và “quy tắc vàng” khi sử dụng thạch anh
Chúng tôi sử dụng các đầu nối tiêu chuẩn, vì vậy chúng có thể được lắp vào các thiết bị gia nhiệt hiện có một cách dễ dàng. Chúng tôi cũng chú trọng đến việc niêm phong các khe nối – đó là nơi thường xảy ra tình trạng rò rỉ. Nhưng điều quan trọng nhất là: không được chạm vào các bóng đèn này bằng tay trần.
Thạch anh rất dễ vỡ, nhưng cũng rất nhạy cảm. Dầu từ da tay có thể tạo ra những điểm nóng, khiến bóng đèn bị hỏng sớm. Hãy sử dụng găng tay không bụi và cồn isopropyl để vệ sinh chúng.
Hãy chăm sóc chúng đúng cách, kết nối chúng một cách chính xác, và chúng sẽ hoạt động ổn định trong hàng nghìn lần sử dụng mà không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào.