Tại sao chúng ta sử dụng công nghệ khử ẩm bằng tia hồng ngoại trong quy trình xử lý wafer?
Trong các nhà máy sản xuất chip bán dẫn, việc duy trì môi trường “sạch” không chỉ là mục tiêu mà còn là yếu tố quan trọng nhất. Nếu còn sót lại dù chỉ một lượng nhỏ chất cặn sau quá trình sấy khô hoặc xử lý, thì đó chính là vấn đề nghiêm trọng. Đó là lý do chúng ta sử dụng các cảm biến và thiết bị phát tia hồng ngoại có độ chính xác cao. Nhờ đó, chúng ta có thể loại bỏ hoàn toàn nhu cầu sử dụng các chất tẩy rửa hóa học và các thiết bị sưởi ấm thông thường.
Hãy quên việc sưởi ấm không khí đi.
Hầu hết mọi người nghĩ đến việc sử dụng lò nung để làm nóng không khí, hy vọng rằng hơi nóng sẽ lan tỏa sang wafer. Nhưng phương pháp này khá chậm và kém hiệu quả. Tia hồng ngoại thì khác. Nó sử dụng bức xạ điện từ để kích thích các phân tử bên trong chính wafer. Quá trình này diễn ra tức thì. Hơn nữa, không cần phải sử dụng các thiết bị sưởi ấm, nhờ đó tránh được việc tạo ra các chất gây ô nhiễm trong môi trường làm việc sạch. Nếu bạn muốn tuân thủ các tiêu chuẩn môi trường hoặc tránh sự xâm nhập của kim loại vào môi trường làm việc, thì đây chính là giải pháp tốt nhất.
Chỉ cần làm nóng những phần cần thiết, chứ không phải toàn bộ wafer.
Điều tuyệt vời là chúng ta có thể điều chỉnh bước sóng của tia hồng ngoại. Thay vì làm nóng toàn bộ wafer, chúng ta chỉ cần tập trung làm nóng những vùng cần thiết trên wafer. Điều này giúp tiết kiệm rất nhiều năng lượng. Bạn sẽ không phải lãng phí năng lượng để làm nóng một chiếc khung kim loại lớn chỉ để xử lý một chiếc wafer kích thước 300mm. Với những mô-đun nhỏ gọn này, bạn có thể loại bỏ những lò nung lớn, giúp tiết kiệm diện tích sử dụng. Hệ thống thông gió và điều hòa không khí cũng sẽ được cải thiện.
Nhưng vẫn còn một vài hạn chế…
Tia hồng ngoại có cường độ cao, điều này rất tốt để làm nhanh quá trình xử lý wafer. Nhưng nó cũng khiến việc kiểm soát nhiệt độ trở nên khó khăn hơn. Nếu các cảm biến có sai số nhỏ, thì sẽ xuất hiện những vùng quá nóng trên wafer. Điều này dẫn đến việc wafer bị biến dạng. Để tránh điều này, bạn cần kết hợp các thiết bị phát tia hồng ngoại với các bộ điều khiển PID có tốc độ cao, nhằm kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác.
Một lưu ý nữa: Đừng sử dụng dây dẫn giá rẻ. Hãy sử dụng dây dẫn có lớp bảo vệ. Nếu không, nhiễu điện từ sẽ xâm nhập vào các cảm biến, làm sai lệch kết quả đo lường. Đó là chi tiết nhỏ, nhưng nó có thể quyết định liệu sản phẩm có hoàn hảo hay không.