激光晶圆切割支撑加热器

在生产线上，激光切割的关键在于将热预算转化为产量。如果辅助加热器开始漂移，切缝质量就会下降，你会看到微裂纹在晶圆上蔓延。我们设计了这个激光晶圆切割辅助加热器，以保持温度稳定、可重复且无颗粒——因为在先进节点的工艺窗口中没有变动的余地。 底层的重要性 该装置将短波红外发射器与低热质量石英模块配对，实...