为何红外加热比强制空气加热更适用于晶圆处理 如果你们仍然依赖强制空气循环来为晶圆加热，那其实是在与物理规律作对。想想看：使用强制空气加热时，必须先让整个腔室内的所有空气分子都升温，之后晶圆才会开始感受到热量。这个过程很慢，效率也很低。而在制造行业中，每一秒都很珍贵，这样的延迟无疑会带来巨大损失。...

在线生产线上，烘烤模块是每班次中你能明显感受到的安静瓶颈。你设定配方参数，期望温度能够达到模型预测的目标值，并且保持稳定——一遍又一遍地循环。当灯管温度低于目标时，光刻胶不能完全脱溶剂，关键尺寸控制开始漂移；当温度超过目标时，光刻胶流动，表面出现污渍，最终导致本应合格的晶圆被报废。不论哪种情况，设...