红外灯安装夹

在300毫米光刻生产线中，温度的微小变化都会带来严重后果：光刻胶烘烤时，0.3℃的温度偏差就足以导致关键尺寸出现纳米级的误差。因此，生产调度系统绝对无法容忍这样的误差。 那个用于固定红外灯的夹具可不是什么无关紧要的小部件。它实际上起着保持温度均匀性的重要作用——它确保在软烘烤、硬烘烤以及固化过程中...