なぜ半導体ウェーハを乾燥させるのに金が使われるのか？ ウェーハの洗浄工程を行う際には、いかにしてバランスを取るかが重要です。表面を素早く乾燥させる必要がありますが、強すぎると熱ストレスによってウェーハが変形してしまいます。 ここで私たちの装置が役立ちます。防水機能を持つ赤外線ランプと、金でコーティングされた反射板を組み合わせているのです。なぜ金かというと、金は熱が機械の筐体内に逃げるのを防ぎ、必要な場所、つまりウェーハに直接熱を届けるからです。 秘密は反射にあります。 多くの人々はアルミニウム製の反射板を使用しますが、問題点は、アルミニウムは赤外線エネルギーを大量に吸収してしまうことです。一方、金は近赤外線光を効率的に反射する特性があります。 薄い金の層を加えることで、本来は後方に向かうはずの放射線を再びターゲット方向に戻すことができます。これにより、ランプの電圧を上げることなく、より強力な熱が得られます。これは単純に物理学の原理に基づいているのです。 「湿った領域」への対処 これらのランプは洗浄環境にあるため、実質的に水分の中にある状態です。もし一滴でも液体が電極に触れると、ランプはすぐに破損してしまいます。 私たちは、シール部分が完全に密閉されているかを徹底的に確認します。また、反射板の形状にも細心の注意を払います。狙った場所に集中した熱線を得るためです。これにより、周囲の機械部品が冷やされ、エネルギーが作業対象に集中します。 トレードオフ（常にあるものです） こんなに多くのエネルギーを集中させるのは、一見良いように思えますが、実際には注意が必要です。金によって熱が強くなりすぎると、ウェーハの端が焼けてしまう可能性があります。また、反射板の後ろではかなり高温になるため、冷却ファンがしっかり機能しているかも確認する必要があります。 最良な点は、これらの装置は簡単に交換できることです。古いIR装置を交換し、配線を接続すれば完了です。水が速く蒸発し、電気系統の負担も大幅に軽減されます。