为何我们选择红外固化技术来处理晶圆？
在半导体制造厂中，“清洁”并非一个简单的目标，而是至关重要的要求。如果在干燥或固化过程中留下哪怕一点点残留物，都会引发问题。因此，我们采用精准的红外传感器和发射器，这样就能完全避免使用化学溶剂和燃烧式加热器。
不必再通过空气加热了。
大多数人都会想到用烤箱来加热空气，希望热量能传递到晶圆上。但这种方法既慢又麻烦。而红外技术则不同——它利用电磁辐射直接作用于晶圆内部的分子，从而实现快速固化。此外，由于没有加热元件，也就不会产生污染物，从而保持洁净室的清洁度。如果你希望符合环保要求，或者避免金属杂质进入洁净室，那么红外技术无疑是最佳选择。
精准控制，而非整体加热。
最棒的是，我们可以调节波长。这样一来，就不必对整个晶圆载体进行加热，只需针对粘合剂或光刻胶的特定吸收带进行加热即可。这样可以节省大量能源，因为无需为固化一个300毫米的晶圆而浪费能量去加热整个金属框架。此外，由于这些设备体积小巧，因此可以取代那些巨大的对流式烤箱，从而释放出更多的空间。你的HVAC系统也会因此受益。
当然，也有缺点。
高强度的红外辐射虽然能让晶圆更快地完成固化过程，但却给温度控制带来了挑战。如果传感器的精度稍有偏差，就可能会导致局部过热，进而使晶圆变形。为避免这种情况，必须将这些发射器与高速PID控制器配合使用，以保持温度稳定。
最后一点建议：不要使用劣质的电缆。请使用屏蔽电缆。如果不这样做，EMI噪声就会干扰传感器的读数，导致数据不准确。虽然这只是一个小细节，但它却关系到产品是否合格的问题。