クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行う際、最も避けたいのは、加熱要素から粒子が発生し、ウェーハや光学部品に付着してしまうことです。それは大変な問題です。一般的なヒーターや安価なランプでは、このような状況に対応できません。彼らは劣化し、ガスを放出し、結果として製品の品質を損ねてしまいます。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しているのです。
なぜ高純度の石英を使うのか？
実は、ほとんどのガラスは高温サイクルに耐えられません。割れてしまいます。しかし、極めて低い不純物含有量を持つ融解シリカは別です。高温になってもほとんど膨張しないため、急激な温度変化によって破損することはありません。
さらに、このランプは短波長の赤外線を利用します。そのため、ワークピース周辺の空気全体が温められることはなく、熱は直接対象物に伝わります。これにより、清潔で正確な加熱が可能になります。
製造過程について
私たちは、粒子の発生を完全に防ぐことにこだわっています。そのため、有機系の接着剤や溶融性の低い接着剤は一切使用しません。すべてを融合させています。
ご自身の電源設備に合ったワット数や電圧を選ぶことができますが、注意点があります。短い管の中で高ワット数を使用すると、熱密度が高くなります。そのため、取り付けブラケットがその熱に耐えられるかを確認してください。そうでないと、機器が変形してしまいます。
実際の使用方法
これらのランプは、ほとんどの硬化や乾燥用トンネルの代用品として使用できます。また、直接的な放射熱であるため、待つ必要はありません。スイッチを入れるだけで、すぐに所定の温度に達します。
ただし、一点注意してほしいのは、石英は壊れやすいということです。熱は好むものの、振動は嫌います。
コンベヤーモーターが振動すると、石英に微細なひびが入ってしまう可能性があります。そのため、必ずランプのハウジングをモーターから隔離することをお勧めします。そうすれば、真空状態が維持され、内部のタングステンが酸化して製造エリアに漏れ出るのを防ぐことができます。安全策としては最善です。