実際に重要な場所に、より多くの熱を与える方法 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、トロリータイプのヒーターの問題を知っているでしょう。ウェーハの表面温度を正確に制御する必要がありますが、他の機器が巨大なラジエーターのようになってしまっては困ります。 多くの人は、通常のアルミニウム製の反射...

クリーンルームでのIRヒーターの安全かつ安定した使用のために クリーンルームで作業を行う際には、「ほぼ完璧」というだけでは不十分です。高精度な機器を扱っているため、わずかな電気的な不具合でも、生産ライン全体が停止したり、敏感なセンサーが破損したりする可能性があります。これは本当に深刻な状況です。...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行う際、最も避けたいのは、加熱要素から粒子が発生し、ウェーハや光学部品に付着してしまうことです。それは大変な問題です。一般的なヒーターや安価なランプでは、このような状況に対応できません。彼らは劣化し、ガスを放出し、...

なぜクリーンルームで赤外線加熱を採用したのか 半導体製造工場で働くとき、「清潔さ」は単なる目標ではなく、最も重要な要素です。わずかな汚れやほこりでも、生産される製品を台無しにしてしまいます。 長い間、私たちは対流式オーブンを使用してきました。しかし、問題点があります。対流式オーブンは単に熱風を送り...

クラス100のクリーンな環境を維持するために クラス100の環境では、「わずかなほこり」など存在しません。たった一つの粒子や化学物質の漏れだけで、作業中の製品は台無しになってしまいます。ほとんどの加熱要素は、温度が上がるとすぐに粒子を放出したり、VOCを漏らしたりしてしまいます。 そのため、私たち...