クラス100のクリーンな環境を維持するために
クラス100の環境では、「わずかなほこり」など存在しません。たった一つの粒子や化学物質の漏れだけで、作業中の製品は台無しになってしまいます。ほとんどの加熱要素は、温度が上がるとすぐに粒子を放出したり、VOCを漏らしたりしてしまいます。
そのため、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しています。これが最も合理的な方法です。
石英が重要な理由
私たちは、不純物がほとんど含まれていない融解シリカを使用しています。なぜかというと、低品質のガラスは粒子を放出してしまうからです。しかし、私たちのランプはそういうことはありません。
赤外線ランプは短波長の赤外線を利用して動作します。部品の周囲の空気を温めるのではなく、エネルギーが直接部品に届きます。これにより、面倒な対流が生じず、床のほこりが舞い上がることもありません。
また、石英の殻は化学的に安定しているため、空気と反応したり、クリーンルーム内に不要な物質を漏らしたりすることはありません。さらに、ランプが温度変化を繰り返す際に、内部のハロゲンガスが漏れ出す心配もありません。
デメリットとその対処法
これらのランプは高速で動作するように設計されています。小さなサイズの中に多くのワット数が詰め込まれているため、数秒で所定の温度に到達できます。ウェーハや高精度な光学部品を扱う場合、このような精度は非常に重要です。
しかし、デメリットもあります。それは、ランプが非常に高温になるという点です。もし筐体がそのような熱負荷に耐えられない場合、問題が発生します。近くにあるプラスチック部品が変形したり、冷却システムが壊れたりする可能性があります。ですから、空気の流れを適切に調整することが大切です。ランプの電子部品を冷やしつつ、クリーンルームの室温を乱さないようにする必要があります。
設置と運用
これらのランプは、簡単に取り付けられるように設計されています。既存の装置に取り付けるために特別な手間は必要ありません。
また、製造過程で残留する油分を除去するために、私たちはリード線を丁寧に洗浄しています。そのため、事前に何時間もかけて準備をする必要はありません。