ウェーハを加熱する際に、クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 半導体ウェーハを加熱する場合、温度制御だけでは不十分です。本当の問題は、粒子です。クラス100の環境では、加熱要素から飛び散ったわずかな破片一つで、生産結果が台無しになってしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかり...

なぜ、すべてのヒーターに対してストレステストを行うのか 大量生産用の乾燥ラインでは、1つだけ不良なヒーターがあっても、それは単なる厄介事にとどまらない。それは大混乱を引き起こす原因となります。1つでも漏れや故障があれば、全体の生産ラインの電力供給が途絶えたり、機器の筐体が損傷したりする可能性があり...

リソグラフィー工程において、フォトレジストの加熱処理は単なる前処理段階ではありません。それは、線幅制御を実現するための重要な要素です。もし加熱プレートの位置がずれてしまうと、ウェハ全体の均一性も同じように乱れてしまい、不良品の量が急激に増えてしまいます。 実際に重要なのは何か？ 私たちがこの加熱プ...