赤外線ランプ取り付けクリップ

300mmラインにおいては、フォトレジストを加熱する際に0.3°Cのずれが生じるだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。したがって、スケジューラーはそのようなずれを決して容認しません。 その赤外線ランプ用の取り付けクリップは、単なる小さな部品ではありません。それは、温度の均一性を...