なぜ、無鉛チップでは対流式加熱を捨てて赤外線加熱を採用するのか？ 工場では、従来の対流式オーブンや、それに伴う化学薬品を使った乾燥処理から徐々に移行しています。みんなが赤外線加熱を選んでいるのです。なぜでしょうか？それは、生産性を損なうことなく、「環境に優しく、無鉛の製品」を作れるからです。 赤外...

半導体製造工程における炭素排出量の削減：すべてはハウジングから始まる 半導体工場で働いている人なら、この問題がどれほど重要かよくわかるでしょう。正確な熱分布を実現しなければ、結局は無駄なコストがかかってしまいます。最近では、炭素中性を達成するための取り組みが活発化しており、古くから使われてきた抵抗...

クラス100のクリーンな環境を維持するために クラス100の環境では、「わずかなほこり」など存在しません。たった一つの粒子や化学物質の漏れだけで、作業中の製品は台無しになってしまいます。ほとんどの加熱要素は、温度が上がるとすぐに粒子を放出したり、VOCを漏らしたりしてしまいます。 そのため、私たち...

オーブンが加熱するのを待って時間を無駄にしないでください。 もしまだ半導体の処理において熱風を利用しているのであれば、その不便さはご存知でしょう。基本的には待つしかありません。まず空気を加熱し、次にチャンバーの壁を加熱し、最終的にウェハーを加熱するのです。とても遅く、面倒な作業です。 しかし、カー...

ウェーハにより多くの熱を与える方法 ファブでウェーハを加熱する際、単に出力を上げればいいと思いがちです。しかし、そのエネルギーが実際にシリコンに届かなければ意味がありません。 ほとんどの場合、標準的なアルミニウム製の反射器が使われますが、問題点があります。それは、アルミニウムが余分なエネルギーを吸...

なぜ、すべてのヒーターに対してストレステストを行うのか 大量生産用の乾燥ラインでは、1つだけ不良なヒーターがあっても、それは単なる厄介事にとどまらない。それは大混乱を引き起こす原因となります。1つでも漏れや故障があれば、全体の生産ラインの電力供給が途絶えたり、機器の筐体が損傷したりする可能性があり...

私たちが中国で製造するファブヒーター：ウェーハ製造ラインに最適な製品です。 私たちは中国国内でファブヒーターを直接製造しており、実際のウェーハ製造現場で、自社開発の加熱モジュールを海外ブランドの製品と直接競わせています。私たちにとって、その証拠はマーケティングではなく、稼働時間や再現性、そして日常...

ファブ内では、ソフトベイクとハードベイクは単なる「加熱工程」に過ぎません。実際には、これらは製品の歩留まりを左右する重要な要素です。リソグラフィーの際にウェーハの温度が1℃でも変動すると、重要な寸法が変わってしまいます。また、加熱中に粒子が発生すると、ダイカッティングを行う前に不良品が生じてしまい...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク中の温度逸脱や乾燥工程でのドリフトは「トラブル」ではない。それはライン幅のばらつきとして現れ、歩留まりを低下させ、予期せぬダウンタイムを招く。従来型ヒーターはウェーハ全体で±0.1°Cを維持しようとするが、サイクルごとにパーティクルを発生させ、クリーンルーム...

リソグラフィ工程において、ソフトベークおよびハードベークは単にフォトレジストの乾燥を意味するものではない。これらはライン幅制御、サイドウォールプロファイル、ウェーハがライン全体をスムーズに流れるかどうかを決定する熱予算を設定する工程である。IRランプの性能が不安定であれば—ある箇所でのホットスポッ...