クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
もし、クラス100のクリーンルームを運用しているのであれば、その手順はよくわかっていることでしょう。単に温度を一定に保つだけでは不十分です。重要なのは、目に見えない粒子やガスです。これらが原因で、わずか数秒でウエハーの品質が悪化してしまいます。
一般的な赤外線ランプは、このような状況では問題を引き起こします。高温になると、金属の不純物や有機物が漏れ出てしまいます。そのため、UHP（超高純度）環境では合成フュージドシリカクォーツを使用します。これにより、熱源が基材を汚染するのを防ぎます。
秘密はクォーツにあります。
私たちは高純度の合成クォーツを使用します。安価なクォーツにはバリウムやアルミニウムが含まれているため、高温になるとガスが漏れ出し、純度が低下してしまいます。また、ハロゲンサイクルも利用します。これにより、タングステンフィラメントが蒸発して管の内部に付着するのを防ぎます。もしタングステンがガラスの表面に付着すると、光の色が変わり、ランプの寿命が短くなってしまいます。
熱に対処する方法
高ワット数のUHPランプを使用すると、非常に高い温度になります。熱密度が非常に高くなるのです。これは部品を素早く加熱するのには良いですが、筐体にとっては大きな負担となります。冷却装置がその負荷に耐えられるかどうかを確認する必要があります。もし空気の流れが悪く、ランプの端が過熱すると、クォーツが壊れてしまいます。
安定さを保つために、R7やSk15のコネクタを使用します。これにより、電気的な接続がしっかりと行われ、真空状態や制御された雰囲気の中でもアークが発生する心配がありません。
実際の使い方のヒント
これらのランプは、ほとんどの高性能半導体や光学コーティング装置に簡単に取り付けられます。クリーンで短波長の赤外線を放出し、材料の奥深くまで効果的に作用します。
ただし、注意点があります。UHPクォーツは指紋を嫌います。
もし技術者が手袋をせずにガラスに触れてしまうと、皮膚の油脂がクォーツに残ってしまいます。これにより「ホットスポット」ができ、ランプが早期に故障してしまいます。
ガラスを常に清潔に保つことが大切です。そうしないと、数百時間ごとにランプを交換する羽目になります。誰も週末をそんな作業に費やしたくはありませんよね。