ウェーハを加熱する際に、クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
半導体ウェーハを加熱する場合、温度制御だけでは不十分です。本当の問題は、粒子です。クラス100の環境では、加熱要素から飛び散ったわずかな破片一つで、生産結果が台無しになってしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかります。
そのため、私たちは赤外線ランプとして高純度の合成石英を使用しています。そうすれば、そのようなリスクを避けることができます。
材料が重要な理由
一般的なガラスや安価な石英では、その高温に耐えられません。応力がかかると、ガスが放出されたり、最悪の場合は破片が飛び散ったりします。その結果、微細な破片や化学的な蒸気がウェーハに付着してしまいます。
私たちが高純度の石英を使用するのは、表面で結晶化したり劣化したりしないからです。また、赤外線放射によってエネルギーが直接基板に届くため、強制送風は必要ありません。つまり、汚染物質が作業場内に飛び散る心配がありません。静かで、清潔で、予測可能です。
適切な加熱条件の設定
私たちは、迅速な加熱と正確な加熱時間を実現するために、これらのランプを改良しました。タングステンフィラメントの密度や石英壁の厚さを調整することで、必要なスペクトル出力を正確に設定できます。
迅速な処理が必要な場合は、高出力のランプを使用します。ただし、筐体の排気機能がそのような高温に対応できるかを確認してください。冷却システムが不十分だと、センサーに悪影響を与える可能性があります。これは避けたい問題です。
設置と石英の「黄金律」
コネクタは標準的なものを使用しているため、既存の加熱装置に簡単に取り付けることができます。また、端帽部分のシールにも細心の注意を払っています。そこが漏れやすい場所なので、しっかりと密封しています。
しかし、最も重要なのは次の点です：絶対に素手でこれらのランプに触れないでください。
石英はもろい上に、敏感です。皮膚からの油分が熱源となり、ランプがすぐに壊れてしまいます。清掃には、綿棒やイソプロピルアルコールを使用してください。
適切に扱えば、これらのランプは何千回ものサイクルを繰り返しても、一度も粒子を放出することはありません。